便攜式手持光譜儀是一種基于XRF光譜分析技術的光譜分析儀器，當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線與原子發生碰撞時，驅逐一個內層電子從而出現一個空穴，使整個原子體系處于不穩定的狀態，當較外層的電子躍遷到空穴時，產生一次光電子，擊出的光子可能再次被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，發生俄歇效應，亦稱次級光電效應或無輻射效應。

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